從細分產(chǎn)品來看，根據(jù)玻璃成分的不同，光掩膜玻璃基板可以細分為合成石英掩膜基板、硼硅玻璃掩膜基板和蘇打玻璃（或鈉鈣玻璃）掩膜基板等。

光掩膜，又稱光罩、掩膜版、光刻掩膜版等，在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)，不僅是微電子制造過程中的圖形轉(zhuǎn)移工具或母版，同時也是承載圖形設(shè)計和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息的載體。而光掩膜產(chǎn)品的原材料和中間材料主要包括玻璃基板、鍍鉻膜層、光刻膠、光學(xué)膜等，其中玻璃基板在整個光掩膜產(chǎn)業(yè)中占據(jù)著重要地位。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2021－2025年中國玻璃基板行業(yè)市場供需現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢預(yù)測報告》顯示，與歐美部分發(fā)達國家相比，我國光掩膜制造行業(yè)起步較晚，開始于上世紀的60年代，在早期由于技術(shù)和設(shè)備相對落后，導(dǎo)致市場主要依賴國外進口；但近幾年，隨著市場的發(fā)展，國產(chǎn)替代趨勢愈發(fā)明顯，使得國內(nèi)市場對玻璃基板的應(yīng)用需求也隨之增加。具體來看，從2017年的8．1萬平方米發(fā)展到2019年，我國玻璃基板需求量達到10．0萬平方米，年均復(fù)合增長率約為11．1％；其中，應(yīng)用在集成電路和平板顯示領(lǐng)域的玻璃基板占比最大，合計接近95％。

從細分產(chǎn)品來看，根據(jù)玻璃成分的不同，光掩膜玻璃基板可以細分為合成石英掩膜基板、硼硅玻璃掩膜基板和蘇打玻璃（或鈉鈣玻璃）掩膜基板等。其中合成石英掩膜基板，具備著良好的化學(xué)穩(wěn)定性，較高的透光率及硬度，但市場價格較高，多用作IC、LSI、大型FPD、大型高精密光學(xué)器件的光掩膜版基材；硼硅玻璃掩膜基板，是指在硼硅玻璃原片基礎(chǔ)上，經(jīng)過加工后制作硼硅玻璃空白掩膜基板，主要用作LSI用Copy mask基材；而蘇打玻璃掩膜基板，是指在鈉鈣玻璃原片基礎(chǔ)上，經(jīng)過加工后制作鈉鈣玻璃空白掩膜基板，市場價格相對較低，主要用作STN－LCD、TN－LCD、FED、EL行業(yè)的專用光學(xué)掩模版基材。其中，合成石英和蘇打玻璃掩膜基板是我國光掩膜玻璃基板的主要產(chǎn)品。

從細分產(chǎn)品的需求角度來看，其中，蘇打玻璃掩膜基板的應(yīng)用需求從2017年的4．4萬平方米發(fā)展到2019年達到了5．0萬平方米，年均復(fù)合增長率約為6．6％，占據(jù)著2019年玻璃基板總需求量的50％；而合成石英玻璃掩膜基板的應(yīng)用需求在2019年達到了4．2萬平方米，同比增長了23．5％，占據(jù)著總需求量超過40％的比重；而硼硅玻璃及其他掩膜基板的市場需求占比較小，尚不足10％。

新思界行業(yè)分析人士表示，近年來，在國家政策和市場需求的大力驅(qū)動下，我國光掩膜版行業(yè)發(fā)展迅速。其中玻璃基板成本占整個材料成本的九成以上，是產(chǎn)業(yè)的重要組成部分。現(xiàn)階段，我國市面上的玻璃基板產(chǎn)品類型主要包括合成石英、硼硅玻璃和蘇打玻璃基板等，其中合成石英玻璃掩膜基板憑借其高硬度、低膨脹系數(shù)和透光性強等優(yōu)勢，蘇打玻璃基板憑借其價格低廉的特點，占據(jù)著國內(nèi)玻璃市場的主流地位。