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僅次于光刻!我國突破氫離子注入核心技術(shù) 100%國產(chǎn)

2024-09-11 17:22
快科技
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快科技9月11日消息,據(jù)國家電力投資集團(tuán)官方消息,近日,集團(tuán)所屬國電投核力創(chuàng)芯(無錫)科技有限公司核力創(chuàng)芯暨國家原子能機(jī)構(gòu)核技術(shù)(功率芯片質(zhì)子輻照)研發(fā)中心,完成了首批氫離子注入性能優(yōu)化芯片產(chǎn)品客戶交付。

這標(biāo)志著,我國已全面掌握功率半導(dǎo)體高能氫離子注入核心技術(shù)和工藝,補(bǔ)全了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中缺失的重要一環(huán),為半導(dǎo)體離子注入設(shè)備和工藝的全面國產(chǎn)替代奠定了基礎(chǔ)。

僅次于光刻!我國突破氫離子注入核心技術(shù) 100%國產(chǎn)

工程師進(jìn)行晶圓離子注入生產(chǎn)

氫離子注入是半導(dǎo)體晶圓制造中僅次于光刻的重要環(huán)節(jié),在集成電路、功率半導(dǎo)體、第三代半導(dǎo)體等多種類型半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中起著關(guān)鍵作用。

這一領(lǐng)域核心技術(shù)、裝備工藝的缺失,嚴(yán)重制約了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高端化發(fā)展,特別是600V以上高壓功率芯片長期依賴進(jìn)口。

核力創(chuàng)芯在遭遇外國關(guān)鍵技術(shù)、裝備封鎖的不利條件下,在不到3年的時間里,突破了多項關(guān)鍵技術(shù)壁壘,實現(xiàn)了100%自主技術(shù)、100%裝備國產(chǎn)化,建成了我國首個核技術(shù)應(yīng)用和半導(dǎo)體領(lǐng)域交叉學(xué)科研發(fā)平臺。

首批交付的芯片產(chǎn)品經(jīng)歷了累計近1萬小時的工藝、可靠性測試驗證,主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平,獲得用戶高度評價。

作者:上方文Q,來源:快科技

       原文標(biāo)題 : 僅次于光刻!我國突破氫離子注入核心技術(shù) 100%國產(chǎn)

聲明: 本文由入駐維科號的作者撰寫,觀點僅代表作者本人,不代表OFweek立場。如有侵權(quán)或其他問題,請聯(lián)系舉報。

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